科技强国从升级镜头开始 第105节

　　换成老M也不行。

　　他们也没办法只在本国，就找到光刻机全部零部件的供应商，得全球多国合作协同才行。

　　而巨大的资源协调成本，更是会大大加重整个研发项目的费用和时间，

　　这也是华国的很多产品，能做到成本远低于国外厂商的主要原因之一。

　　总之，无论常春光所有没有突破EUV光源的技术，康驰都可以尝试着借用他的研发制造能力，来迅速获得一套可行的光源系统。

　　现在光刻的光有了，

　　下一步就是把光，通过一个光学系统，收集并投影到涂上了光刻胶的硅片上面。

　　这个光学系统，也是整台光刻机中，造价成本占比最大的。

　　这部分康驰准备对大秦光学的镜头生产线，进行升级，然后把它给拆了，直接获得光刻机镜片和反射镜制造，所需要的大部分设备零件。

　　这么做的效率无疑会高很多，

　　而且升级后的生产线，估计连解析项目都没有，

　　因为里面的大部分技术，康驰在解析光刻机的时候，就已经得到了，他本人拥有非常大的解释空间。

　　唯一的缺点就是，需要他在接下的项目中，进行一定的混淆视听，把这些拆分开的组件，神不知鬼不觉地掺到整个项目里去。

　　嗯，

　　就是欺负严辉他们对光刻机没啥研究，

　　到时候估计也是康驰让他们干什么，他们就干什么，思考空间并不多。

　　至于光刻机最后的一个关键系统，则是承载硅片的双工件台系统。

　　它的工作原理很简单，就是在光刻中不断的挪动硅片的曝光部位，但其中的技术含量其实非常大。

　　因为这个工作平台必须快、准、狠。

　　速度，决定了光刻机的效率，

　　移动太慢了，光刻机的产量就不行，

　　这就要求它，在高速移动后，还得迅速且精准地停下，

　　停留的位置误差，还得在1nm以内，

　　但凡偏差大一点，整个晶圆就直接报废了！

　　这啥概念？

　　大概就是一辆高速行驶的汽车，突然紧急刹停，然后停下位置误差还不能超过1毫米。

　　不过这个难点，在今年5月份的时候，刚好被铪工大给搞定了，

　　他们研发出来的真空高速超精激光干涉仪，位移的分辨率达到了惊人的5pm，位移误差控制在了30pm！

　　要知道，1000pm才等于1nm！

　　0.03nm的位移误差，简直牛逼到不行！

　　康驰简直怀疑，他们是不是和自己一样开了挂……

　　讲真，华国能人还是挺多的，

　　如果不靠系统，康驰自己虽然也有一定的把握可以攻克这种技术，但时间就不知道要多久了……

　　所以康驰一直也不断地在提醒自己，虽然系统确实好用，但自己学习和理解的脚步同样不能停下。

　　这不但是为了在解析技术的时候，减轻自己的痛苦，免得突然暴毙，更是为以后万一出现精通点不够，需要自研的情况出现时，不至于两眼一抹黑啥也干不了。

　　总之EUV光刻机的大部分技术难点，其实华国都已经攻克或即将攻克了，只不过具体哪些能够复刻落地量产，还是个未知数。

　　为了得到答案，康驰特地打了个电话给吕首长。

　　当听到康驰问光刻机的事情，吕首长顿时就打起了精神，连忙问道：“你准备搞光刻机研发？”

　　“嗯，有这个想法。”

　　“搞光刻机好啊！嗯……不过你不是忙着量产采油虫吗？哪来这么多的时间精力研发光刻机？”

　　“抽空玩玩呗……”

　　“……”

　　随后康驰又在吕首长的沉默中，咨询了关于常春光所EUV光源系统，和铪工大双工件台系统研究情况。

　　“嗯……他们确实都有了一定的突破，但具体到了什么技术节点，还有多久能实际落地，我也说不准……你可以找张院士问问，这方面他比较清楚。”

　　于是康驰挂了电话后，又拨通了张达远的电话，

　　结果张达远一听康驰的问题，直接就说电话上讲不清楚，让他过去燕京面谈。

　　康驰强烈怀疑，这老头就是想把他骗过去，忽悠他搞那个啥稳态微聚束光源，

　　但为了争取缩短光刻机研制周期的机会，康驰也不得不从了他……

　　反正过去后任他怎么说，康驰就是不跟他干，

　　他还能把康驰给扣了不成？

　　……

　　经过了两个多小时飞行，康驰在天黑前就抵达了燕京国际机场，

　　前来接机的是陈海的同事，三人汇合后，便直奔HEPS项目部。

　　经过层层安检和报备，康驰终于项目部里面，见到了带着安全帽，穿得像工地工人的张达远。

　　看到这个已经年近七十的老人，竟然还能精神抖擞地深居一线，亲自参与实验工程的建设，康驰也不禁感到有些佩服。

　　“张院士，好久不见了。”

　　刚见面，康驰便主动和他握了握手，赞叹道：“您可真是宝刀未老啊。”

　　“那必须的。”张达远得意地拉着康驰，“走走走，先带伱参观参观。”

　　面对张达远的热情，康驰自然也不好拒绝，

　　何况他本人，其实对这里也挺好奇的，于是便跟着张达远，在这个正在建设中的高能同步辐射光源里面，简单地转了一圈。

　　上一章差点被4，好在修改后放出来了。

　　估计如果写的太细太贴近事实，非常容易被4……

　　稳妥起见，接下来在技术和节点，可能会简单带过，

　　然后稍微夸张点，反正牛逼就完事了。

　　希望大家不用去较真找茬，就当是我瞎几把乱吹好了。

　　嗯，

　　事实上，我就是在吹牛逼，真的！

第123章 牵线

　　高能同步辐射光源这玩意说白了，其实就是小型的粒子加速器，只不过它需要在加速管道中间，建设一个扰乱磁场，让被加速的电子运动轨迹，突然出现变化，

　　每次电子发生剧烈位移，都能甩出一个触不及防的虚光子。

　　所以根据质量效应的理论，那些武侠电影和动漫里面的角色，动作出现残影，甚至影分身之术，其实是完全有可能的。

　　如果把人当成粒子，加速到一定程度，说不定也能出现一个或者多个虚光子人，

　　然后当人物一个急刹或者跳跃，突然改变了运动轨迹，这个影分身就会反应不过来，继续按照原本的运动轨迹前进，

　　继续刹车，继续分身……

　　嗯，

　　大概就是，

　　我能无限影分身？

　　所以用高能同步辐射光源的方法，理论上可以制造出所有稳定、可控且高功率的光线，极紫外光只不过是其中的一种而已。

　　不过同步辐射光源的造价动辄上百亿，运行维护成本也非常高昂，其科研探索价值要远高于经济价值，

　　如果不是逼不得已，实在是没办法突破激光等离子放电技术，应该没人会用这玩意来造芯片……

　　多少有点大炮打蚊子了。

　　而张达远其实也只是高能同步辐射光源项目建设的主要负责人之一，

　　等项目建成之后，他负责的就是用同步辐射光源来制造极紫外光的原理验证项目。

　　在张达远的带领下，康驰很快就逛完了这个高能同步辐射光源，

　　因为还在建设中，它和普通的隧道工程相比，无非就是预留了很多安装设备的结构，

　　乱七八糟的施工现场，也看不出有什么特别的。

　　回到办公室，张达远笑眯眯地给康驰倒了杯茶：“看完有什么感觉？”

　　“牛逼。”

　　“……”

　　牛逼？

　　可你看看你这表情，像是觉得牛逼的样子吗？

　　张达远顿时有些语塞。

　　过了片刻，他才叹息道：“你对这种大型科研工程这么没兴趣？”

　　“嗯……怎么说呢，受限于个人能力，我暂时对前沿理论研究兴趣不大，如何把理论应用到现实，并在实际应用中对理论改良升级，才是我的强项和兴趣。”

　　说白了，就是康驰的系统，注定了他会偏向于把科技转换成实际点的物品，从而迅速改变世界。

　　当然，这也只是偏向，

　　实际上在升级的过程中，随着物品的等级提升，里面其实就会自带一些可能从未有过的理论知识。

　　听完康驰的解释，张达远也明白了他的想法，虽然有些失望，但他还是鼓励道：“应用科学也不错，现在国家最需要的也是这样的人才……伱在电话上说想搞光刻机？”

　　“嗯，就先想了解一下EUV光源和双工件台，有没有现成可用的？”