这个学霸过于自律 第337节

　　“所有装置已经检查完毕，符合实验的条件，我们随时可以开始。”

　　上午九时许。

　　总部大楼实验室内，全副武装的贺鹏涛，看向那台搭建了一段时间的毫米级演示装置，待完成相应的工作后立刻对总设计师进行报告。

　　虽然他早就入选科学院院士，但这次为了实验验证的顺利进行，果断选择亲自动手参与实验。

　　尽可能保证不出差错。

　　同样有此操作的丁顺安院士，则正站在徐铭身旁。

　　“开始吧。”

　　徐铭对于这种重要场面，可以说早就司空见惯，闻言仅点头吐出几个字，脸上的表情始终保持镇定，浑身散发出胸有成竹的自信。

　　使得周围人安心不少。

　　贺鹏涛接到指令，转过身看向身后的潘耀，让其进行下一步操作。

　　“小潘，安装光源靶盘，”

　　“是老师。”潘耀掷地有声回答。

　　随即在实验系统控制室内几人的注视下，硅基光源靶盘安装到在演示装置上，终于为其拼上了最后一块拼图。

　　“好多年没有像现在这么紧张了，希望实验的结果不会辜负大家的期望。”这时丁顺安还是忍不住开口，在深吸了一口气后才算让情绪稳定下来。

　　之前微电子装备研发90纳米工艺光刻机时，都未曾像今天这么紧张过。

　　不知是海外那份文件给国内带来的压力，还是徐铭这几个月以来，所展现出来的实力太过让人震惊意外。

　　只能说在拉高了预期目标之后，越是容易患得患失。

　　生怕会出现不好的结果。

　　徐铭听到丁顺安院士的话，顺势扭过头，脸上堆着淡淡的笑容接过话补充。

　　“放心吧丁院，我们前期已经准备的足够多，相信实验验证绝不会让大家失望。”

　　“说的没错，是我心态不稳了。”丁顺安点点头当即笑着附和句。

　　尽管他这个身份和年龄，竟还不如徐铭沉得住气，但心里面却没丝毫不适，毕竟以徐铭的水平，很难会去把他当做三十不到的年轻人。

　　哪怕年龄确实如此。

　　就这样。

　　很快伴随着验证实验正式开始，在众人的观察和各种监测仪器设备的记录下，只见从激光设备中，发射出一束高强度且高重复频率的近红外激光。

　　在照射到高速旋转的光源靶盘上后，激光在每一个点上瞬间激发耦合态。

　　辐射出稳定的极紫外光。

　　“各项数据怎么样？”

　　贺鹏涛最先反应过来，立刻望向坐在屏幕前的潘耀大声询问具体数据，想知道最终结果究竟如何。

　　虽说包括徐铭在内的其他人，没有再开口，但大家的目光无一例外，都集中在了潘耀的身上，因为过度紧张甚至有人都快要屏住呼吸。

　　约摸过去了将近两分钟时间，潘耀的声音终于在实验室内响起。

　　能够听出其中夹杂着明显的激动情绪。

　　“有结果了。”

　　“激光在光源靶盘上，成功激发出等离激元耦合态。”

　　“辐射出的光源波长为13.5纳米。”

　　“输出光源稳定在50瓦，转化效率突破15%。”

　　几乎是潘耀话音落下的瞬间，整个实验室内顿时爆发出雷鸣般的热烈鼓掌声，每个人脸上都肉眼可见的浮现出发自内心的喜悦。

　　“成功了。”

　　“我们掌握了稳定的极紫外光源，这是国产高端光刻机研发的一大步。”

　　“徐总师的设想是正确的。”

　　“很难想象首次实验，转化效率就达到了15%，这可比海外主流的极紫外光源技术高效许多。”

　　“简直是在做梦。”

　　凡是抽调进光刻机专项研究组的成员，都属于两个光机所内的优秀科研人员，对极紫外光源的好处无比清楚。

　　但就是这样决定着高端光刻机工艺的光源，在几个月前对国内方面来说，还是可望而不可及的遥远存在，只有海外的阿斯麦公司才能研发极紫外光刻机。

　　可此刻在微电子装备总部实验室内，却诞生出了转化效率高达15%的稳定极紫外光。

　　毫不夸张的讲，这项成果无论放在哪里，都是地震。

　　足以让全世界感到吃惊。

　　待众人的情绪逐渐平复下来，贺鹏涛依旧查看着屏幕中反馈的数据，随后恋恋不舍收回目光，才直起身体看向面前的徐铭面色潮红。

　　“太让人惊喜了，采用新理论得到的极紫外光，已经远远超过海外主流的轰击锡滴技术。”

　　“解决高端光刻机的核心光源系统，接下来我们的国产光刻机研发，肯定会迎来一段飞速发展的阶段。”

　　“我提议应该立刻向外界宣布此消息，让海外知道华国有能力研发高端光刻机。”

　　对此旁边的丁顺安也没保持沉默，闻言虽不愿意破坏眼下的气氛，但最终嘴唇微动还是跟在后面补充了句。

　　“可惜输出的极紫外光，只稳定在50瓦，距离商用所需的250瓦还有差距，不过毕竟是首次进行验证实验，这个结果已经远远超出预计了。”

　　徐铭对此次验证的成功并不意外，就连丁顺安口中的功率问题也在预料之内。

　　主要今天的实验，核心挑战是新理论方法，是否能稳定输出极紫外光，事实证明他的设想是非常成功的，要确定了这件事之后才能解决功率问题。

　　于是还没等丁顺安的遗憾情绪停留多久，他当即主动开口回应上一句，并未在这个时候还故意去卖关子。

　　“关于光源的功率问题，可以通过将光源靶盘设计成多环结构，让多路激光同时激发来提升，应该能够满足商用的250瓦功率。”

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第225章 以最强力的方式回应

　　随着徐铭的话音落下，丁顺安院士先是沉思，约莫过去小半分钟时间，突然像是想到了什么，猛地抬起头脸上浮现出欣喜表情。

　　“好办法。”

　　“让多路激光同时激发，这样一来的话，所产生的稳定光源功率定会提升。”

　　“达到商用的250瓦也就不是问题。”

　　他对于这次实验验证的结果，无疑感到很高兴，既证明了徐铭提出的设想可行，又让大家这几个月以来的努力没有白费。但碍于目前国内正遭遇的困境，他太过想要赶紧解决当下局面。

　　所以才会对稳定极紫外光源的功率感到遗憾。

　　毕竟实验功率，只有商用数值的五分之一大小，想让其增长的话，仍需投入大量时间研究。

　　相当于又延长了国产高端光刻机的研发周期。

　　但他万万没有想到，这个担忧的问题，在徐铭口中竟显得如此简单。

　　仿佛随时就能解决。

　　关键他在脑海中进行研判后，确定可行性很高，若采用徐铭的方法，就算达不到商用的250瓦，也绝对会比现在的数值高出很多。

　　无疑又是一个巨大的惊喜。

　　快速回过神来，他有些控制不住情绪，下秒主动向徐铭询问确认。

　　“徐总师。”

　　“是不是你早就想过这个问题了？”

　　主要从得到验证数据，到徐铭给出解决方案，前后连两分钟都不到，实在让人无法相信，这是临时刚想出来的光源功率应对方法。

　　而丁顺安院士的这句话，也成功引起了，现场其他人的好奇目光。

　　纷纷凝聚过来视线。

　　连贺鹏涛院士也笑着附和道：“现在啊，我从徐总师口中听到什么都不奇怪。”

　　春城光机所研究多少年的核心光源系统，在徐铭这里只用几个月便验证成功，让他不免有一种先前都在研究什么的羞愧感，若早换作徐铭来负责，恐怕现在国产高端光刻机技术早就领先全球喽。

　　也不至于搞得像现在这么被动。

　　徐铭听完两人的话，看向大家的目光，嘴角浮现着淡淡笑容如实回答。

　　“我确实考虑过光源功率问题，只是因为多环结构的光源靶盘，设计研发难度会比正常高出不少，为了尽快验证这项理论设想，才暂时放弃了极紫外光源的功率。”

　　“有你这句话，我放心多了。”丁顺安脸上堆满笑容连连回答。

　　既然此方法早就在徐铭计划里，说明是经过比较周密严谨的推导论证，如此成功率也就有了保障，必然能够解决稳定光源功率问题。

　　当高端光刻机最核心的光源系统，其技术被成功攻克并优化效率，那么后续其它光刻机部分的研究，效率上就会畅快许多飞速进展。

　　想到用不了多久，首台国产极紫外光刻机就能问世。

　　其心情可想而知。

　　“说实话我从来没有想过，咱们的高端光刻机，能研发的这么顺利，看来我们对徐总师你的了解，远远不如余院长知道的多啊！”

　　“幸亏余院长选了徐铭担任总设计师，否则研发进度肯定不会有现在快。”丁顺安听到身旁贺鹏涛的感慨，当即再次接过话茬附和一句。

　　徐铭则在承受了两位院士的轮番称赞后，只好战术性轻咳两声，让大家停止这个话题的讨论，接着重新把交流内容转到正事上面。

　　“现在我们才完成了极紫外光源挑战，想要在海外阿斯麦公司之前，推出7纳米工艺极紫外光刻机的话，还需解决不少的问题。”

　　几乎是这番话从口中讲出的瞬间，面前贺鹏涛和丁顺安两位院士，顿时神情有些怔住下意识轻声低喃。

　　“比阿斯麦更先研发吗？”

　　“我们的光刻机，真能直接升级到7纳米工艺？”

　　哪怕后面的潘耀等研究员，眼中都闪出精光，毫不掩饰流露的向往之色。

　　作为光刻机领域科研人员，对阿斯麦的大名，自然是如雷贯耳。

　　代表着现今人类光刻机技术的巅峰。

　　早在前段时间，阿斯麦就曾表示，正在研发新一代极紫外光刻机。

　　能够用于7纳米甚至5纳米芯片工艺的光刻制造。