这个学霸过于自律 第365节

　　自家孩子究竟是个什么水准，基本是心知肚明。

　　流片验证虽尚未开始，但最终结果如何，多少会有一个预期数值。

　　徐铭依旧保持着冷静的思维，将贺鹏涛和丁顺安两位的交流，悉数听进耳中，虽想说些宽慰的话，给他们吃上一颗定心丸，但嘴唇微动下，还是把话给咽了回去。

　　逐光极紫外光刻机，和璇玑系统EDA算法工具，他自然是胸有成竹信心满满。

　　但要知道一件事，流片验证的数据，可不单靠这两项左右，其中任何一个环节都能产生影响。

　　比如较为关键的光刻胶。

　　原本他的打算，是想通过璇玑系统，反向设计适配的高端光刻胶，尽管这会延长流片验证的日子，却可以保证良品率。

　　刚好科学院化学研究所，在国产光刻胶的研究上，取得了新突破。

　　便索性提前进行流片验证。

　　毕竟站在上面的角度，留给国内的时间确实不多，必须尽最大努力，和阿斯麦同步推出极紫外光刻机，把行业可能会受到的冲击损失，减低至最小范围。

　　于是念头停留在这里，他方沉声吐出一句话。

　　“开始工作吧，流片验证的数据如何，很快我们就能知道。”

　　随着话音落下，身旁的贺鹏涛和丁顺安，也一改刚才脸上的笑容，神情变得严肃认真。

　　点点头前往各自的工作区域，指挥科研人员调试。

　　为流片验证做最后准备。

　　……

　　伴随时间一分一秒流逝，机房现场的氛围，因逐渐弥漫的紧张感，变得有些窒息。

　　连余高远等场外人员，都仿佛要屏住呼吸。

　　生怕因为自己发出的动静，导致今天的流片验证出现问题。

　　不知道过去多久，只听站在操作台前的潘耀，突然开口向徐铭进行汇报，总算暂时打破眼下的氛围。

　　“报告徐总师，设备已调试完毕，随时可以进行流片。”

　　说完。

　　负责优化璇玑系统的苏振豪，同样不再保持沉默，紧跟在潘耀的话后，也停下手上动作，转过身报告工作进度。

　　“璇玑系统优化完成。”

　　闻言徐铭猛地从椅子上站起身。

　　目光先是依次在潘耀和苏振豪身上扫过，然后看向贺鹏涛和丁顺安，在短暂的眼神交流后，下秒便不再过多耽搁时间，立即下达了最重要的指令。

　　“开始吧。”

　　“是徐总设计师。”潘耀和苏振豪几乎同时回应。

　　紧接着所有科研人员，再次投入到紧张的工作状态，神情保持着高度专注。

　　此次流片验证采用的测试芯片，是一颗不包含复杂功能的专用测试芯片，其版图由璇玑系统软件生成。

　　包括分辨率测试图案，套刻精度标志，电性测试机构，和特殊监测图形等。

　　不多时。

　　在超净间外，徐铭和科研团队，通过观察窗，看着第一片硅片被送入珠光极紫外光刻机，整个气氛庄重而充满期待。

　　当全系统链路功能验证流片流程开始启动，严格按照璇玑输出的工艺档和珠光的标准参数执行，而这个过程也需要一定的时间，需在晶圆片完成制造后，进行光学量测和电子显微镜检测。

　　或许是看到氛围太过严肃，这个时候一直没发言的余高远，终于舍得主动开口。

　　“真让人惊心动魄啊，不知道有多久，没经历过这种心情了。”

　　说这句话时，故作轻松的语气，和脸上堆出的微笑，为大家的情绪增添一些不同的波动。

　　“大家的压力确实不小。”贺鹏涛点点头附和句。

　　前脚话音刚落，身旁科学院化学研究所的周启深院士，也接过话茬道：“国家有徐总师这样的天才，我相信逐光极紫外光刻机，肯定能光刻出良好的各层图案。”

　　他比贺鹏涛和丁顺安小上几岁，在光酸剂与树脂等分子设计，以及合成与作用机理等研究领域，位于国内领先地位。

　　对国家化学材料的发展，做出过重要贡献。

　　此次整合国内资源，成立国家集成电路制造研发创新中心，他所在化学研究所，也被纳入整合范围。

　　负责国产高端光刻胶的研发工作。

　　其中值得一提的是，徐铭擅长数学物理甚至信息学科，凭借自身实力和天赋，带领光刻机和芯片设计软件，快速实现技术迭代。

　　以至于经常能在网上看到，又有新的进展新闻。

　　这对他们光刻胶项目组团队来讲，无疑有着巨大的压力。

　　只能依靠自身。

　　尽最大努力，保证国产高端光刻胶的研发，做到不拖其他项目部门的后腿。

　　毕竟大家所在工作属于一个整体，任何人掉队都不行。

　　幸好他们的运气还算不错，在首台逐光极紫外光刻机组装完前夕，成功合成一种效果更好的光刻胶。

　　远超过当前国内的光刻胶水平。

　　而正当他思维快速运转，脑海中一直想着流片结果时，耳旁突然响起徐铭的熟悉声音。

　　“我们要看的，不是能不能做出图形，而是现实与预测的偏差，究竟有多少原子。”徐铭看向周启深院士，神情很是认真的接话，他对流片数据的要求，远比现场人要高。

　　如果说其他人的目标，是芯片制造技术，追赶上阿斯麦设备的产品。

　　那么他则是要超过。

　　况且在付出这么多努力和心血后，想达成这一点，也并非是什么不可能做到的事。

　　余高远对徐铭的了解，无疑要比现场任何人都深。

　　他在听到这句话，当即应和道：“有你的这句话，我对流片结果可是更加期待了，看来又要给我惊喜。”

　　众人之间的交流并未持续多久，很快就又被流片过程吸引。

　　目睹百分之百国产化，正在运行的逐光极紫外光刻机，团队士气越发高昂。

　　由于整个流片过程，包括光刻和刻蚀，以及沉积等数十道工序，且被严密监控，因此往往要历时数周时间才能结束。

　　面对这种情况，大家毅然留在微电子装备。

　　都想第一时间看到流片数据，也好见证国内芯片制造历时上，真正里程碑时刻。

　　……

　　很快来到月底。

　　高考结束分数陆续出炉，准大学生开始填写志愿，选择自己心仪的高校专业。

　　如果这时候去参加，各地举行的招生活动，则会发现燕大所在展台位置，基本上一个学生和家长都没有，但偏偏被旁边的箐华等，学校招生老师羡慕的不行。

　　没办法。

　　正所谓树的影，人的名。

　　在徐铭这张金字招牌下，燕大已然成为，全国最顶尖的高校。

　　彻底把箐华甩在后面。

　　甚至放眼国际，燕大也的地位排名，也在以肉眼可见的速度，每年持续上涨。

　　特别是有着‘疯人院’美称的数院。

　　有这些因素在，能够上燕大的学生，根本不会纠结犹豫。

　　自然用不着参加这种活动。

　　放前几年的时候，徐铭偶尔还会帮忙为学校招生宣传，毕竟在他那一大堆头衔中，最开始的可是燕大数院教授。

　　不过今年肯定是没有这个时间。

　　6月27日，周二，微电子装备集团总部。

　　今天光学测量实验室内，要比以往任何时候都要热闹，尤其人员上更是打破记录。

　　因为在外面房间内，愣是聚集了大十几个身影。

　　且有将近一半，都为院士。

　　目前用于流片的晶圆片已完成制造，被送入了光学测量实验室，进行关键的光学测量和电子显微镜检测，这能够得到详细的流片数据，以及芯片良品率。

　　众人眼下待在这里，正是想第一时间知道结果。

　　明明面积不大的房间内，大家几乎紧挨着坐下，却愣是安静的很。

　　纷纷保持着沉默。

　　谁都没有率先开口打破僵局。

　　显然心情都很紧张。

　　直到房间门外突然响起一阵敲门声，瞬间让众人同时抬起视线望去，心脏仿佛都跳快了不少。

　　平时一向稳重的院长余高远，更是首先脱口喊话。

　　“进来。”

　　穿着实验服的科研人员推门进来，手中拿着份崭新出炉的报告，脚步才刚迈进房间，便迫不及待开口汇报。

　　“徐总师，各位院士领导。”

　　“晶圆片的光学测量数据结果出来了……”

　　“直接讲吧。”徐铭闻言立刻出声，把对方的话给打断。

　　而这个时候，那位科员人员也没有耽搁，仅短暂顿了一秒，忙详细讲出报告中的数据。

　　“根据测量结果显示，逐光分辨率完全达标，光学成像能力优秀，各层图案对齐良好，另外光刻机的机械精度达到预期。”

　　当徐铭以及贺鹏涛和丁顺安，等微电子装备科研人员，听完这番话后，原本悬着的心总算彻底放下，证明逐光国产极紫外光刻机主体研发成功。

　　标志着国内终于拥有了，百分之百国产化的，高端极紫外光刻机。

　　不过大家并没有在这个时候鼓掌庆祝，反倒是强压住心中激动，继续听后面的其他流片数据项目结果。

　　……