这个学霸过于自律 第366节

第245章 你难道连这个也懂

　　“继续讲吧。”

　　徐铭点点头重新看向对方，示意往下接着报告。

　　这时旁边的余高远，同样没有耽搁，迫不及待也跟在后面附和上一句。

　　“对。”

　　“快说下其他测试项目情况？”

　　迎上现场所有人目光的实验室工作人员，因紧张下意识咽了口唾沫后，随即接着念出手中报告后面的内容。

　　“线条边缘粗糙度出现异常，LER的测量值，普遍比璇玑系统预测高出30%。”

　　随着这句话讲出，房间内的氛围顿时一变。

　　原本还浮现在脸上的笑容，瞬间便消失不见，就像是大冬天突然被浇了盆冷水。

　　没想到首次全链路功能验证流片，还是不可避免的出现了问题。

　　而神情变化最大的，则要属化学研究所人员，尤其是周启深院士。

　　旁边华天科技公司工程师，也微微有些皱眉。

　　从刚才的测试结果来看，国产逐光极紫外光刻机，主体研发成功没有问题，在线条边缘粗糙度上，出现这么大数值的偏差，原因大概率在光刻胶或者算法工具，说明仍旧存在没有发现的错误。

　　正当大家陷入沉思时，只见周启深一个跨步，来到那位实验室人员跟前，迅速接过数据报告认真查看起来。

　　视线约莫移动了几行内容，口中不由得低喃出声。

　　“线条边缘在显微镜下，呈现出颤抖的毛边形态，并非预测中的光滑刀刃。”

　　“我们的光刻胶刚完成技术升级……”

　　“不应出现这种情况才对？”

　　话音还未完全落下，华天科技董事长孙庆丰，几乎下意识脱口接上一句。

　　“璇玑系统是由徐总师亲自带领大家开发，预测的数值绝对能够保证精度。”

　　“没错。”苏振豪闻言也点了点头。

　　他全程见证了，徐铭亲自参与璇玑系统开发，深知其核心算法和模型的技术程度，是绝无例外的远远领先于海外三大EDA公司产品。

　　贺鹏涛与丁顺安等微电子装备这边，按理说应该会逐光极紫外光刻机的成功高兴，但突然出现这种情况，心里涌现出几分担忧。毕竟无论光刻机还是光刻胶，亦或者璇玑系统软件，都是为了制造高端芯片服务，任何环节出现问题所带来的结果一样。

　　那就是生产线无法启动。

　　至于院长余高远，和其他领导，因未具体参加项目。

　　面对稍专业的内容，无法做出判断。

　　只得把目光投向，身为总设计师的徐铭。

　　将大家的反应看在眼里，徐铭这时却并不意外，相反早就做出了类似情况的措施。

　　不管怎么说，这都是首次进行全链路流片验证，中间涉及到的因素实在太多太多，纵使发生状况也属于很正常的一件事情。

　　要知道在极紫外光刻机领域，国内可没有什么流片的具体经验。

　　在这件事上，还是要承认海外优势的。

　　念头停留在这里，他目光在众人身上扫过，接下周院士递来的报告，垂眼快速浏览完后，依旧无比镇定的讲出自己的相关判断。

　　“可能是工艺波动，或者测量误差，先等电性测试结果出来吧。”

　　“结果预计多久？”后边这句是对实验室人员说的。

　　“报告徐总师，电性测试也在进行中，下午应该就应能有详细数据出来。”实验室工作人员连忙沉声回答。

　　“那好。”

　　“大家就再耐心等等吧。”徐铭收回目光看向大家说。

　　眼看后续方向明确下来，余高远也不再沉默，主动接过话茬帮助大家调整好心态。

　　“为了研发出，百分之国产化的芯片制造产业链，咱们所有人都已经等了很多年。”

　　“哪还会差这点时间。”

　　“况且咱们还有将近一年时间，肯定来得及。”

　　尽管他很清楚，大家都肩负着很大压力，无比希望能在阿斯麦新产品正式发布前，推出国产极紫外光刻机，但越是到这个时候越是要稳住心态。

　　确保产品技术的绝对成熟。

　　而最关键的一点，是他对徐铭的信心。

　　有着余高远调节氛围，待实验室工作人员，急忙离开去盯电性测试时，房间内也再次恢复安静，谁都没有率先开口打破僵局进行交流。

　　不过可以确定一点，周启深以及化学研究所，大部分人脸上神情都肉眼可见的紧张。

　　仿佛在等待最终的宣判书。

　　在这种氛围下，中午大家甚至都没舍得，下楼去外面食堂吃饭。

　　直接订了些盒饭送到房间，边吃边等结果。

　　时间一分一秒过去，当日头走过正午，逐渐向西面偏移快到三点的时候。

　　万众期待下，房间的门终于再次被敲响。

　　这回不用徐铭开口，便有人一把拉开房门，将人拽进来的同时迫切询问。

　　“怎么样？”

　　“数据结果出来了吗？”

　　此话一出，也瞬间吸引现场所有人的目光。

　　“报告在这里。”实验室工作人员，点点头主动走过去把文件递到徐铭手中。

　　徐铭接下打量上去，约摸过去几分钟时间，方合上报告转递给身旁的其他人翻阅。

　　“你们也看看吧。”

　　口中话音前脚刚落下，紧跟在后面又详细分析。

　　“晶体管性能未能达到预期，开关速度比璇玑系统预测值慢了15%左右，且波动范围也比较大。”

　　“加上漏电流也比预测值高出一个量级，这会严重影响芯片的功耗出现失效。”

　　根据这几项测试的结果看，实际流片数据，根本达不到璇玑系统的数字流片，这样的良品率，可没法用于商业生产线的使用。

　　必须找到问题将其解决。

　　很快。

　　伴随大家都看完报告，人群中的苏振豪率先开口，依旧坚持自己的判断。

　　“璇玑系统的模型算法，经过了无数次验证，预测数值是不可能出现问题的。”

　　眼看众人要针对此事召开讨论时，只听徐铭再次开口拍板为情况做出决断，显然通过这些数据报告，已然成功找到了问题的真正所在。

　　“问题不在于我们的设计软件，也不在逐光极紫外光刻机的光学投影上，如果我的判断没有错，应该是光刻胶在响应极紫外光时发生了，模型之外的化学反应暴走。”

　　“由光刻胶响应迟缓随机，引起图案边缘随机溃散。”

　　“进而破坏了晶体管的电学特征。”

　　“周院研发的新一代光刻胶，虽然实现技术突破，但仍旧没能达到逐光和璇玑的要求。”

　　“我们的设计软件和光刻机，在技术上与海外分属于不同的技术路线，要想真正发挥出最大优势，成为世界上最先进的高端芯片生产线，必须为他们量身打造一款国产高端光刻胶。”

　　当徐铭的话音传到房间每个人耳中，大家心里也不免感到五味杂陈。

　　面对这样的一个结果，不知道该高兴还是叹气。

　　首次全链路功能验证流片，在一定程度上，证明了逐光极紫外光刻机，和璇玑系统EDA算法工具的成功，单凭这两项成果自然值得高兴庆贺。

　　然却也发现了光刻胶的问题，依旧无法实现真正的国产化高端芯片制造。

　　周启深看到结果虽情绪短暂低落，但毕竟是国内化学领域的顶尖专家，他很快便调整好了自己的心态。

　　待目光重新浮现坚定之色时，立刻向余高远说话。

　　“请院里和领导放心，我们化学研究所，保证在一年时间内找到并解决光刻胶响应迟缓随机。”

　　“不影响国产芯片制造产业链问世。”

　　然余高远听完这句话后，却并没有立刻开口表态。

　　反倒是把视线投向徐铭询问道：“你是整个专项项目的总设计师，先谈谈你的想法和后续打算吧？”说话时脸上表情隐隐夹杂着几分期待。

　　以他对徐铭的了解，既然能直接确定问题，那么大概率已经有解决方案。

　　肯定要先询问清楚。

　　毕竟和徐铭接触的这段时间，他可没少从对方那里听到惊喜。

　　没错。

　　徐铭对于光刻胶的响应迟缓随机，确实没有太担心。

　　正常情况下，要为光刻机和软件量身打造光刻胶，的确是件非常困难的事情。

　　尤其在化学合成以及实验的时候，往往要经历无数次的失败后，才能找到最合适的配比技术和数值，而这个过程相对来说也比较漫长。

　　若放在以前时间充足的情况下，那自然可以慢慢去研发实验。

　　奈何眼下留给国内的时间只剩一年。

　　但好在凭借璇玑系统的强大，可以通过数学物理模型把编写光刻胶的分子结构。

　　真正做到完美适配。

　　要知道极紫外光刻的本质，是光与物质在皮米尺度上的华丽舞蹈，而璇玑系统便是编好的舞蹈动作，光刻胶则归属于那个跳舞的舞者。

　　只要编写出具体的分子结构，为每束极紫外光，制定它的化学反应。

　　再由化学合成团队，根据结构和路径制造光刻胶。

　　采用这种方法，其效率要远远超过传统方案。

　　相信不用一年的时间，就能研发出完全适配，逐光极紫外光刻机和璇玑系统的高端光刻胶。